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- Subject Heading超精密工具形状計測 非球面金型 レプリカ 超精密ダイヤモンド切削 転写性 表面粗さ
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- Subject Heading位置決め 空気静圧案内面 工作機械 精密機械 ダイヤモンド切削 超精密工作機械 能動制御 摩擦駆動
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- Subject Heading超精密切削加工 超精密工作機械 熱変形 ダイヤモンド切削加工 インプロセス補正制御 誤差推定
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- Subject Heading位置決め 工作機械 ダイヤモンド切削 超精密工作機械 ナノテクノロジ 摩擦駆動
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- Subject HeadingPt/C多層膜 / 超高圧透過型電子顕微鏡 / レプリカ反射鏡 / 斜入射X線望遠鏡 / X線多層膜の設計 / 離型 / 無電解ニッケル非球面金型 / 超精密ダイヤモンド切削
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- Subject Heading磁気デイスク基板 ダイヤモンド切削 残留応力 形状精度 シリコン 異方性エツチング 表面構造 ...
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- Subject Heading超精密加工 ダイヤモンド切削 切削加工 加工環境 雰囲気制御 環境制御 難削材加工 工作...
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- Subject Heading硬脆材料 延性モード 切削 超精密加工 超精密計測 超精密制御 ダイヤモンド切削 超精密研削
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- Subject HeadingFraunhofer回折 インプロセス測定 超精密加工 ダイヤモンド切削 ナノメータ 微細傷 表面粗さ 表面欠陥
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- Subject Heading超精密ダイヤモンド切削加工 超音波振動切削加工 延性モード切削加工 鉄系材料 硬脆...
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- Subject Heading超精密工作機械 超精密切込み装置 インテリジエント制御 熱変形制御 誤差補正 ダイヤモンド切削
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- Subject Headingダイヤモンド切削 超精密切削 仕上げ面性状 表面あらさ 残留応力 超精密加工...
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- Subject Headingダイヤモンド研磨 結晶方位 研磨異方性 摩擦異方性 研磨温度 ダイヤモンド切削工具 切削力 切りくず工具間摩擦係数 切りくず凝着
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