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環境対応形工作機械用クリ-ンテ-ブルシステムの開発

環境対応形工作機械用クリ-ンテ-ブルシステムの開発
Paper図書
青山, 藤詞郎, 慶應義塾大学2001-2002<Y151-H13450060>
National Diet Library
  • Subject Heading工作機械 テ-ブルシステム 案内面 空気半浮上機構 環境対応

高域動的特性を有する超精密・高速位置決めテーブルシステムに関する研究

高域動的特性を有する超精密・高速位置決めテーブルシステムに関する研究
Paper図書
新野, 秀憲, 東京工業大学2000-2001<Y151-H12450056>
National Diet Library
  • Subject Headingテーブルシステム 超精密位置決め リニアモータ 工作機械 半導体製造装置 E...

電気粘性流体を用いた可変減衰機構付き工作機械用テーブルシステムの開発

電気粘性流体を用いた可変減衰機構付き工作機械用テーブルシステムの開発
Paper図書
稲崎, 一郎, 慶応義塾大学1996-1997<Y151-H07555044>
National Diet Library
  • Subject Heading電気粘性流体 テーブルシステム 工作機械 減衰力 びびり振動 切削加工

一方向組立性を具現化するアジア諸国向きテーブルシステムの試作開発研究

一方向組立性を具現化するアジア諸国向きテーブルシステムの試作開発研究
Paper図書
新野, 秀憲, 東京工業大学1999-2000<Y151-H11555040>
National Diet Library
  • Subject Headingテーブルシステム 一方向組立性 バツクラツシ 連続転位歯形 ラツクーピニオン...

次世代超LSI製造用高速サブナノ位置決めテーブルシステムの開発

次世代超LSI製造用高速サブナノ位置決めテーブルシステムの開発
Paper図書
新野, 秀憲, 東京工業大学1996-1997<Y151-H08555033>
National Diet Library
  • Subject Headingテーブルシステム 位置決め制御 LSI製造装置 高速サブナノ位置決め リニア...

電気粘性流体を用いた能動形超精密テーブルシステム

電気粘性流体を用いた能動形超精密テーブルシステム
Paper図書
伊東, 誼, 東京工業大学1993-1994<Y151-H05555041>
National Diet Library
  • Subject Heading電気粘性流体 テーブルシステム 超精密加工 運動精度 液晶 構造設計 特性制御 工作機械

工作機械のテーブル案内・送り駆動機構の機能高度化設計方法

工作機械のテーブル案内・送り駆動機構の機能高度化設計方法
Paper図書
伊東, 誼, 東京工業大学1991-1992<Y151-H03452110>
National Diet Library
  • Subject Heading工作機械 テーブルシステム 構造設計 連結機構 結合部特性 超精密加工 剛性 運動精度

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