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- Subject Headingスパツタ イオン注入 マイクロマテリアル 動的特性
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- Subject Headingマイクロマテリアル / 薄膜 / 疲労 / 機械的特性 / 引張強度 / 曲げ...
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- Subject HeadingMEMS / マイクロマテリアル / 疲労損傷 / AFM / EBSP / 薄膜 / ナノ...
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- Subject Headingナノ / き裂伝ぱ / 疲労 / MEMS / マイクロマテリアル / 国際情報交換 / アメリカ
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- Subject Headingマイクロマテリアル / 薄膜 / 機械的特性 / 曲げ試験 / 疲労試験 / ...
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- Subject Headingマイクロマテリアル 微小材料 破壊 疲労 引張試験 結晶方位 環境強度 Si単...
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- Subject Headingマイクロマテリアル 薄膜 機械的特性 引張試験 微小部ひずみ測定 ポリシリコン...
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- Subject Headingマイクロマテリアル 疲労 環境強度 交流電位差法 ナノテクノロジー 原子間力顕...
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- Subject Headingマイクロマテリアル マイクロマシーン 機械的特性評価 破壊 疲労 微細放電加工...
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- Subject Headingマイクロマテリアル マイクロテステイング マイクロマシン 薄膜 引張試験 せん...
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- Subject Headingマイクロマテリアル マイクロテスティング マイクロマシン 薄膜 引張試験 せん...
- Note (General)...子デバイス等の構成材料としてのマイクロマテリアルに対して,その機械的特性を評価する方法,いわゆるマイクロテス...