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反応性スパッタ法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価

反応性スパッタ法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価
Paper図書
坪井望, 新潟大学 [著][坪井望]2004-2005<Y151-H16560270>
National Diet Library
  • Subject Headingデラフォサイト / CuAlO_2 / 透明導電性酸化物 / p形酸化物 / 薄膜 / 反応性スパッタ / スパッタ / レーザアニール

電子ビーム励起高出力エキシマレーザによる大面積半導体薄膜のアニール

電子ビーム励起高出力エキシマレーザによる大面積半導体薄膜のアニール
Paper図書
岡本, 孝太郎, 電気通信大学1992-1994<Y151-H04650263>
National Diet Library
  • Subject Heading多結晶シリコン薄膜 エキシマレーザアニール

半導体のレーザ結晶化過程の研究

半導体のレーザ結晶化過程の研究
Paper図書
山田, 正良, 京都工芸繊維大学1989-1990<Y151-H01550015>
National Diet Library
  • Subject Headingレーザ結晶化 レーザアニール シリコン 熱解析 SOI 溶解

半導体のレーザ結晶化過程の研究

半導体のレーザ結晶化過程の研究
Paper図書
山田, 正良, 京都工芸繊維大学1986-1987<Y151-S61550016>
National Diet Library
  • Subject Headingレーザ結晶化 熱解析 三次元集積回路 レーザアニール 半導体 温度

アニール技術を用いた高性能シリコン薄膜トランジスタに関する研究

アニール技術を用いた高性能シリコン薄膜トランジスタに関する研究
Digital博士論文
野口, 隆
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Summary, etc....行ったものである。特にエキシマレーザアニール（ELA）を用いた、全工程が下地に影響を与えない低温プロセス...
  • Subject Heading薄膜トランジスタ エキシマレーザアニール 多結晶シリコン TFT ELA poly Si

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