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変調操作を用いた非定常状態の積極利用によるULSI積層配線作製プロセスの高度化

Paper図書

霜垣, 幸浩, 東京大学1999-2000<Y151-H11450269>

National Diet Library

Subject HeadingCVD バリアメタル変調操作核発生薄膜成長結晶化不純物制御比抵抗

境界プラズマの電位形成と輸送の運動論的解析

Paper図書

佐藤邦弘, 姫路工業大学1994-1995<Y151-H06680483>

National Diet Library

Subject Headingダイバータ不純物制御プラズマーガス相互作用熱電熱係数イオン分極ドリフト電...

核融合周辺プラズマにおけるアーク現象と共堆積膜中への水素同位体吸蔵に関する研究

Digitalその他

上杉, 喜彦, Uesugi, Yoshihiko2016-06-22平成27(2015)年度科学研究費補助金基盤研究(B) 研究成果報告書 = 2015 Fiscal Year Final Research Report2013-04-01 – 2016-03-31p.6p.-

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Subject Headingトリチウム吸蔵制御不純物堆積膜核融合周辺プラズマ反応性プラズマ不純物制御

定常化研究における第一壁のコンデイシヨニング法

Paper図書

菅井, 秀郎, 名古屋大学1994-1995<Y151-H06452419>

National Diet Library

Subject Heading第一壁コンデイシヨニングボロンコーテイングリチウムコーテイング水素リサイクリング酸素ゲツタリング不純物制御デカボラン ECRプラズマ

窒素スカベンジャーを利用した不純物共堆積膜中への水素同位体吸蔵の制御

Digitalその他

上杉, 喜彦, Uesugi, Yoshihiko金沢大学理工研究域電子情報通信学系2019-06-18平成30(2018)年度科学研究費補助金基盤研究(B) 研究成果報告書 = 2018 Fiscal Year Final Research Report2016-04-01 - 2019-03-31p.4p.-

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Subject Heading制御熱核融合プラズマー壁相互作用トリチウム吸蔵レーザ誘起ブレイクダウン分光法不純物共堆積膜核融合周辺プラズマ不純物制御

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