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Walking Driveを利用した高真空対応超精密アライメント装置の開発

Walking Driveを利用した高真空対応超精密アライメント装置の開発
Paper図書
社本英二, 名古屋大学 [著][社本英二]2003-2004<Y151-H15360069>
National Diet Library
  • Subject Heading超機密アライメント装置 / 半導体製造装置 / 圧電素子 / XYθテーブル / 位置決め装置 / 真空

Walking Driveを利用した超精密アライメントテ-ブルの開発

Walking Driveを利用した超精密アライメントテ-ブルの開発
Paper図書
社本, 英二, 名古屋大学2001-2002<Y151-H13555036>
National Diet Library
  • Subject Heading超精密アライメント装置 半導体製造装置 圧電素子 XYθテ-ブル 位置決め装置 真空

大口径Siウエハ対応の2003年実用one-stop加工機械及び中核技術の開発

大口径Siウエハ対応の2003年実用one-stop加工機械及び中核技術の開発
Paper図書
江田, 弘, 茨城大学1999-2001<Y151-H11792007>
National Diet Library
  • Subject Headingシリコンウエハ 超磁歪材料 微小位置決め装置 姿勢制御 固定砥粒 研削加工 局所クリーンルーム 省エネ

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