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電気光学材料を用いたリング共振器光スイッチのSiLSI上へのモノリシック集積

電気光学材料を用いたリング共振器光スイッチのSiLSI上へのモノリシック集積
Paper図書
横山新, 広島大学 [著][横山新]2005-2007<Y151-H17360166>
National Diet Library
  • Subject Heading光スイッチ / 電気光学効果 / リング共振器 / モノリシック集積 / 低温形成 / 光強度変調 / (Ba, St) TiO_3 / スパ...

光誘起表面反応を併用したCVD法によるダイヤモンド膜の低温形成

光誘起表面反応を併用したCVD法によるダイヤモンド膜の低温形成
Paper図書
光田好孝, 東京大学 [著][光田好孝]2001-2004<Y151-H13450291>
National Diet Library
  • Subject Headingダイヤモンド薄膜 / 気相生成 / H原子 / 光誘起表面反応 / Nd: YAGレーザー / 表面吸着 / 光脱離 / 低温形成

高密度プラズマを用いた大面積多結晶シリコン薄膜の低温形成

高密度プラズマを用いた大面積多結晶シリコン薄膜の低温形成
Paper図書
豊田, 浩孝, 名古屋大学1997-1999<Y151-H09558055>
National Diet Library
  • Subject Heading多結晶シリコン 誘導結合プラズマ 低温形成 高密度プラズマ 高速堆積 大面積堆積

低周波プラズマCVDによる集積回路配線の拡散バリア材としてのTiN膜低温形成

低周波プラズマCVDによる集積回路配線の拡散バリア材としてのTiN膜低温形成
Paper図書
下妻, 光夫, 北海道大学1998-1999<Y151-H10650298>
National Diet Library
  • Subject HeadingTiN プラズマCVD 薄膜生成 低周波プラズマ 低周波プラズマCVD 拡散バリア材 薄膜低温形成 集積回路材

新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御

新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御
Paper図書
豊田, 浩孝, 名古屋大学1995-1996<Y151-H07680505>
National Diet Library
  • Subject Headingアモルフアスシリコン 誘導結合プラズマ 出現質量分析法 多結晶シリコン 紫外透過分光法 ラジカル計測 低温形成

イオンビーム手法によるGeナノ構造体の低温形成と評価

イオンビーム手法によるGeナノ構造体の低温形成と評価
Digital博士論文
宮脇, 亜子
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Subject Headingナノ構造体 イオン照射 低温形成 イオン誘起

電気光学材料を用いたリング共振器光スイッチのSiLSI上へのモノリシック集積

電気光学材料を用いたリング共振器光スイッチのSiLSI上へのモノリシック集積
Digital文書・図像類
横山, 新
Other Libraries in Japan
  • Subject Heading光スイッチ 電気光学効果 リング共振器 モノリシック集積 低温形成 光強度変調 (Ba, St)TiO_3 スパッタ

電気光学材料を用いたリング共振器光スイッチのSiLSI上へのモノリシック集積

電気光学材料を用いたリング共振器光スイッチのSiLSI上へのモノリシック集積
Digital文書・図像類
横山, 新
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Subject Heading光スイッチ 電気光学効果 リング共振器 モノリシック集積 低温形成 光強度変調 (Ba, St)TiO_3 スパッタ

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