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シリコン基板上の化合物半導体低温ヘテロエピタキシ-成長

Paper図書

大山, 昌憲, 東京工業高等専門学校2000-2002<Y151-H12555190>

National Diet Library

Subject Heading低温結晶成長化合物半導体薄膜ヘテロエピタキシ- ドライプロセスイオ...

シランーフツ素系化学反応プロセスを利用するSi薄膜の低温結晶成長技術の開発

Paper図書

半那, 純一, 東京工業大学1994-1995<Y151-H06505001>

National Diet Library

Subject HeadingCVD シランフツ素アモルフアスシリコン多結晶シリコン低温結晶成長反応流

磁界制御水素プラズマスパッタリング法による電子材料作製に関する研究

Paper図書

宮里達郎, 九州工業大学1988-1990<Y151-S63550238>

National Diet Library

Subject Heading水素プラズマスパツタリング法超微粒子シリコン結晶多結晶シリコン膜化合物半導体膜低温結晶成長磁界制御歪み格子

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