Search results for "均一プラズマ" | NDL Search | National Diet Library

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1990s(3)

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変形マグネトロン型プラズマ源の開発

Paper図書

佐藤徳芳, 東北大学1996-1998<Y151-H08558043>

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Subject Heading大面積プラズマ均一プラズマ高周波放電変形マグネトロン型放電大口径プラズマ高密度...

プラズマプロセス用大面積プラズマの生成

Paper図書

佐藤, 徳芳, 東北大学1995-1995<Y151-H07044308>

National Diet Library

Subject Heading大口径プラズマ均一プラズマ ECRプラズマ RFプラズママグネトロン型プラズマヘリ...

新方式ECRアンテナによるプロセス用大面積均一プラズマの生成

Paper図書

佐藤, 徳芳, 東北大学1993-1995<Y151-H05558053>

National Diet Library

Subject Heading大口径均一プラズマ ECRアンテナスロツトアンテナプラズマプロセスエツチ...

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Page Num.202