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極微ナノ構造形成過程の動的観察とその解析に関する共同研究

極微ナノ構造形成過程の動的観察とその解析に関する共同研究
Paper図書
越川, 孝範, 大阪電気通信大学1998-1999<Y151-H10044184>
National Diet Library
  • Subject Heading低エネルギー電子顕微鏡 LEEM 極微構造 水素終端シリコン表面 水素介在効果

構造・状態分析可能な角度分解光電子回折装置を用いた表面研究

構造・状態分析可能な角度分解光電子回折装置を用いた表面研究
Paper図書
越川, 孝範, 大阪電気通信大学1996-1997<Y151-H08455026>
National Diet Library
  • Subject Heading光電子回折 水素終端シリコン表面 銅/シリコン成長 高分解能深さ方向分析

シリコン表面の精密制御によるアルミニウム極微細線の自己組織的形成

シリコン表面の精密制御によるアルミニウム極微細線の自己組織的形成
Paper図書
坂上, 弘之, 広島大学1996-1997<Y151-H08650034>
National Diet Library
  • Subject Heading水素終端シリコン表面 ステツプ/テラス構造 平坦化処理 Al微細構造 DMAlH...

水素終端Si表面のメゾスコピツク周期構造の自己組織化と反応特異性の研究

水素終端Si表面のメゾスコピツク周期構造の自己組織化と反応特異性の研究
Paper図書
高萩, 隆行, 広島大学1996-1997<Y151-H08455021>
National Diet Library
  • Subject Heading平坦化処理 ステツプ/テラス構造 自己組織化 UHV-STM 水素終端シリコン表面 微傾斜研磨表面

超高真空非接触・非破壊容量-電圧測定システムの開発

超高真空非接触・非破壊容量-電圧測定システムの開発
Paper図書
長谷川, 英機, 北海道大学1996-1998<Y151-H08555072>
National Diet Library
  • Subject Heading非接触・C-V 超高真空一貫システム 表面・界面準位 表面プロセス フエルミ準位ピンニング 水素終端シリコン表面 極博絶縁膜 ECRプラズマ 酸窒化膜

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