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減圧CVD成膜における気相反応の電界制御

減圧CVD成膜における気相反応の電界制御
Paper図書
足立元明, 大阪府立大学 [著][足立元明]2001-2003<Y151-H13450329>
National Diet Library
  • Subject Heading減圧CVD / 薄膜 / イオンクラスター / UV励起 / 光電子放...

原料ガスのイオン化による無発塵CVD成膜装置の開発

原料ガスのイオン化による無発塵CVD成膜装置の開発
Paper図書
足立, 元明, 大阪府立大学1997-1999<Y151-H09555240>
National Diet Library
  • Subject Heading減圧CVD 薄膜 イオンクラスター UV励起 光電子放出 イオン化 T...

シリコン量子構造体の形成・物性制御と室温動作デバイスへの応用

シリコン量子構造体の形成・物性制御と室温動作デバイスへの応用
Paper図書
宮崎, 誠一, 広島大学1998-2000<Y151-H10305026>
National Diet Library
  • Subject Headingシリコン 量子構造 量子ドツト 減圧CVD 自己組織化形成 原子間力顕微鏡 選択成長 表面化学結合

光・プラズマ2重励起による半導体SiCの低温エピタキシヤル成長

光・プラズマ2重励起による半導体SiCの低温エピタキシヤル成長
Paper図書
西野, 茂弘, 京都工芸繊維大学1989-1990<Y151-H01550016>
National Diet Library
  • Subject HeadingプラズマCVD 光CVD 減圧CVD 立方晶SiC 3C SiC ヘテロエピタキシー 結晶成長 ...

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