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電子ビーム励起プラズマによる超硬質薄膜創製法の開発

電子ビーム励起プラズマによる超硬質薄膜創製法の開発
Paper図書
Petros Abraha, 名城大学 [著][Petros Abraha]2003-2004<Y151-H15560106>
National Diet Library
  • Subject Heading電子ビーム / プラズマ / 超硬質薄膜 / c-BN膜 / 基盤バイアス / ほう素ターゲット

高密度プラズマスパッタリングによるナノコンポジット超硬質薄膜合成の研究

高密度プラズマスパッタリングによるナノコンポジット超硬質薄膜合成の研究
Paper図書
三宅正司, 大阪大学 [著][三宅正司]2001-2003<Y151-H13305053>
National Diet Library
  • Subject Headingナノコンポジット / 超硬質薄膜 / 窒化物薄膜 / スパッタリング / イオンビーム

高密度プラズマPVDによる次世代超硬質薄膜合成

高密度プラズマPVDによる次世代超硬質薄膜合成
Paper図書
三宅, 正司, 大阪大学1997-1999<Y151-H09480091>
National Diet Library
  • Subject Heading高密度プラズマ PVD 超硬質薄膜 薄膜合成 ヘリコン波 真空アーク 窒化炭素薄膜 カーボン薄...

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