Search results for "選択エピタキシヤル成長" | NDL Search

Search results 3

Group by title

超薄膜SiヘテロエピタキシヤルSOI構造の形成と薄膜トランジスタへの応用

Paper図書

中村, 哲郎, 豊橋技術科学大学1989-1991<Y151-H01460140>

National Diet Library

Subject HeadingSOI構造 Al2O3 薄膜トランジスタ気相成長法ガスソースMBE 選択エピタキシヤル成長電子線照射

電子ビーム描画法を用いたin-Situシリコン選択エピタキシヤルSOI構造の研究

Paper図書

石田, 誠, 豊橋技術科学大学1991-1992<Y151-H03452155>

National Diet Library

Subject HeadingSi選択エピタキシヤル成長電子ビーム照射 SOI構造ガスソースMBE Si/Al2...

SiGe選択エピタキシャル成長前の基板表面清浄化方法がHBT特性に与える影響の検討

Digital文書・図像類

清田, 幸弘, 小田, 克矢, 大植, 栄司, 速水, 礼子, 近藤, 将夫, 鷲尾, 勝由, 田邊, 正倫, 島本, 裕巳, 山口, 修, 稲田, 太郎, KIYOTA, Yukihiro, ODA, Katsuya, OHUE, Eiji, HAYAMI, Reiko, KONDO, Masao, WASHIO, Katsuyoshi, TANABE, Masamichi, SHIMAMOTO, Hiromi, YAMAGUCHI, Osamu, INADA, Taroh電子情報通信学会2000-10-13電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス374p.39-43

Other Libraries in Japan

Summary, etc.UHVCVDによるSiGe選択エピタキシャル成長前の基板表面清浄化方法として, 大流量H_2アニール, 高真...
Subject HeadingUHVCVD SiGe選択エピタキシャル成長 H_2アニール HBT

Reached to the end of result.

RSS