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- Subject Heading弾性表面波 境界波 圧電材料 集積化 パツケ-ジ LiNbO_3 電子ビ-ム露光
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- Subject Heading微細加工 / 電子ビーム露光 / 熱磁気記録 / スピン注入 / アモルファス合金 / ...
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- Subject HeadingGaInAs/InP HBT ヘテロ接合バイポーラトランジスタ エミツタ微細化 電子ビーム露光 アンダーカツトエツチング抑制 メサ側面形成
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- Subject Heading超高速デバイス 超伝導デバイス 極微細加工プロセス 電子ビーム露光技術 超薄膜結晶成長 量子効果デバイス 原子層エピタキシー ...
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- Subject Heading半導体レーザ 量子細線 量子箱 歪量子井戸 電子ビーム露光法 ECRドライエツチング法 自然放出光 キヤリア捕獲時間
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- Subject Heading超高速デバイス 超伝導デバイス 極微細加工プロセス 電子ビーム露光技術 超薄膜結晶成長 量子効果デバイス 原子層エピタキシー ...
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- Subject Heading超高速デバイス 超伝導デバイス 極微細加工プロセス 電子ビーム露光技術 超薄膜結晶成長 量子効果デバイス
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- Subject Heading準光学系 薄膜アンテナ スパイラルアンテナ ミキサ SIS SWL サブミリ波 電子ビーム露光
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- Subject Heading電子波現象 横超格子構造 電子ビーム露光 埋め込み成長 有機金属気相成長法 OMVPE ホツトエレク...
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- Subject Heading極微細構造 有機金属気相成長法 電子ビーム露光法 化学エツチング 電子波反射 ドライエツチング 量子細線レ...