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- Subject Heading電子照射 / ナノファブリケーション / 透過電子顕微鏡 / シリコ...
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- Subject Heading核融合中性子照射 核分裂炉照射 イオン照射 電子照射 照射損傷 反跳エネルギー 統計的揺らぎ現象
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- Subject Heading格子欠陥 点欠陥 統計的揺らぎ現象 照射損傷 超高圧電子顕微鏡 電子照射損傷 中性子照射 イオン照射
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- Subject Heading界面接合プロセス 薄膜形成 ダイヤモンド薄膜 電子照射形CVD法 STM STS マイクロ接合 薄膜付着性評価法
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- Subject Heading水素化非晶質Ge (a-Ge: H) ECRプラズマCVD 光電特性 水素ラジカル照射 電子照射 イオン照射 水素エツチング アモルフアスー微結晶相転移
Digital博士論文
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- Subject Heading半導体 電子照射 Si 電子ビームドーピング
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