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高アスペクト比・複雑形状超精密マイクロ部品の創成とその応用

高アスペクト比・複雑形状超精密マイクロ部品の創成とその応用
Paper図書
竹内, 芳美, 大阪大学2001-2002<Y151-H13555033>
National Diet Library
  • Subject Heading超精密切削加工 マイクロ加工 高アスペクト比 ダイヤモンド工具

Alの陽極酸化皮膜を利用する磁性体の超高アスペクト比微細加工と磁気マイクロマシン

Alの陽極酸化皮膜を利用する磁性体の超高アスペクト比微細加工と磁気マイクロマシン
Paper図書
山崎, 二郎, 九州工業大学2000-2001<Y151-H12450129>
National Diet Library
  • Subject Heading陽極酸化 高アスペクト比 微細加工 磁歪 マイクロモータ 磁気マイクロマシン

Alの陽極酸化皮膜をレジストとする磁気繊毛の微細加工と繊毛運動マイクロ搬送機構

Alの陽極酸化皮膜をレジストとする磁気繊毛の微細加工と繊毛運動マイクロ搬送機構
Paper図書
山崎, 二郎, 九州工業大学1998-1999<Y151-H10450126>
National Diet Library
  • Subject Heading酸極酸化法 磁気繊毛 高アスペクト比 微細加工 マイクロマシン

集束プロトン線描画によるポリマー・ガラス材料のマイクロ・ナノ加工に関する研究

集束プロトン線描画によるポリマー・ガラス材料のマイクロ・ナノ加工に関する研究
Paper図書
西川宏之, 芝浦工業大学 [著][西川宏之]2005-2007<Y151-H17310085>
National Diet Library
  • Subject Heading集束プロトンビーム / 微細加工 / 高アスペクト比構造 / レジスト / マイクロフォトニクス / 導波路 /...

レーザビーム描画による紫外線感光性樹脂を利用したマイクロストラクチエアの製造

レーザビーム描画による紫外線感光性樹脂を利用したマイクロストラクチエアの製造
Paper図書
山口, 勝美, 名古屋大学1994-1995<Y151-H06452159>
National Diet Library
  • Subject Headingマイクロ部品 紫外線感光性樹脂 集束レーザビーム 高アスペクト比 3次元形状 ビーム描画 光の吸収

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