Search results 3
Paper図書
National Diet Library
- Subject Heading窒化物薄膜 高周波反応性スパツタリング ピンホール欠陥 分極曲線
Paper図書
National Diet Library
- Subject Heading高周波反応性スパツタリング 傾斜機能薄膜 発光分光 質量分析 オージエ電子分光法
Paper図書
National Diet Library
- Subject Heading窒化物薄膜 高周波反応性スパツタリング法 酸化挙動 窒化チタン 窒化アルミニウム