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Paper図書

酒井徹志, 東京工業大学 [著][酒井徹志]2001-2002<Y151-H13450138>

National Diet Library

Subject Headingサブ10ナノメータ / MOSFET/SOI / 短チャネル効果 / 駆動電流 / 高誘電率ゲート絶縁膜 / SiGe / ECRスパッタ

Paper図書

大見, 忠弘, 東北大学1993-1994<Y151-H05402039>

National Diet Library

Digitalその他

近藤, 博基, 安田, 幸夫, 財満, 鎭明, 酒井, 朗, 池田, 浩也2005-04

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