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マイクロ波原子間力顕微鏡の開発及びナノ領域における電気的特性の定量評価

マイクロ波原子間力顕微鏡の開発及びナノ領域における電気的特性の定量評価
Paper図書
巨陽, 名古屋大学, 東北大学 [著][巨陽]2005-2007<Y151-H17206011>
National Diet Library
  • Subject Headingマイクロ波 / 原子間力 / 顕微鏡 / ナノ領域 / 電気的特性 / 定量評価 / AFMプローブ / 表面形状計測

圧電検出・駆動型ダイヤモンドマルチプロ-ブを搭載した次世代ナノ加工・計測システム

圧電検出・駆動型ダイヤモンドマルチプロ-ブを搭載した次世代ナノ加工・計測システム
Paper図書
柴田, 隆行, 茨城大学2001-2002<Y151-H13555068>
National Diet Library
  • Subject Heading次世代ナノ加工・計測システム ナノリソグラフイ- 原子間力顕微鏡 AFMプロ-ブ ダイヤモンド薄膜 PZT薄膜 アクチユエ-タ センサ

カーボンナノチューブストリングの作製・制御に関する研究

カーボンナノチューブストリングの作製・制御に関する研究
Paper図書
唐捷, 物質・材料研究機構 [著][唐捷]2004-2006<Y151-H16510080>
National Diet Library
  • Subject Headingカーボンナノチューブ / 電気泳動法 / 希土類ホウ化物ナノワイヤ / 原子力間走査型顕微鏡用探針 / 高輝度冷電子エミッター / ナノチューブプローブ / 点電子源 / STM及びAFMプローブ

高精度マイクロマシニングによる超センシング

高精度マイクロマシニングによる超センシング
Paper図書
江刺, 正喜, 東北大学1998-2000<Y151-H10305033>
National Diet Library
  • Subject Heading高感度圧力センサ 加速度センサ ジヤイロスコープ 高精度マイクロマシニング 容量型AFMプローブ NMOS用プローブ ナノパターン転写 ナノマシニング

知能化ダイヤモンドマルチプローブを搭載したナノ計測一体型超微細加工システムの開発

知能化ダイヤモンドマルチプローブを搭載したナノ計測一体型超微細加工システムの開発
Paper図書
柴田, 隆行, 北海道大学1998-1999<Y151-H10555075>
National Diet Library
  • Subject Headingナノ計測一体型超微細加工システム ナノリングラフイー 原子間力顕微鏡 AFMプローブ ダイヤモンド薄膜 圧電薄膜 アクチユエータ センサ

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