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二重SOI構造による高温度用加速度センサ

二重SOI構造による高温度用加速度センサ
Paper図書
石田, 誠, 豊橋技術科学大学1994-1995<Y151-H06555102>
National Diet Library
  • Subject Heading加速度センサ 高温度用 SOI構造 Al2O3膜 有限要素法 マイクロマシニング 二重SOI構造

電子ビーム描画法を用いたin-Situシリコン選択エピタキシヤルSOI構造の研究

電子ビーム描画法を用いたin-Situシリコン選択エピタキシヤルSOI構造の研究
Paper図書
石田, 誠, 豊橋技術科学大学1991-1992<Y151-H03452155>
National Diet Library
  • Subject HeadingSi選択エピタキシヤル成長 電子ビーム照射 SOI構造 ガスソースMBE Si/Al2O3/Si構造 電子ビーム描画法 エピタキシヤルAl2O3膜

紫外光励起を利用したシリコン基板上へのエピタキシヤル絶縁膜形成の基礎研究

紫外光励起を利用したシリコン基板上へのエピタキシヤル絶縁膜形成の基礎研究
Paper図書
中村, 哲郎, 豊橋技術科学大学1986-1988<Y151-S61460124>
National Diet Library
  • Subject HeadingエピタキシヤルAl2O3膜 ガスソース分子線エピタキシー 紫外光励起 シリコン基板 X...

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