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強誘電体ゲートトランジスタの開発に向けての界面の改良と電子的特性評価

強誘電体ゲートトランジスタの開発に向けての界面の改良と電子的特性評価
Paper図書
丹生, 博彦, 姫路工業大学2000-2001<Y151-H12650348>
National Diet Library
  • Subject Heading強誘電体ゲートFET MFIS構造 PZT薄膜 Al2O3薄膜 MFS型デバイス 強誘電性のAFM観察

単結晶アルミナとシリコンによる極薄膜多層構造の量子デバイス応用への基礎研究

単結晶アルミナとシリコンによる極薄膜多層構造の量子デバイス応用への基礎研究
Paper図書
石田, 誠, 豊橋技術科学大学1998-2000<Y151-H10450118>
National Diet Library
  • Subject HeadingSOI構造 単結晶Al2O3薄膜 MBE法 エピタキシヤル成長 薄膜シリコン 量子デバイス

極微細領域選択エピタキシヤル成長法の基礎的研究

極微細領域選択エピタキシヤル成長法の基礎的研究
Paper図書
石田, 誠, 豊橋技術科学大学1994-1996<Y151-H06452216>
National Diet Library
  • Subject Heading選択エピタキシー 電子ビーム照射 Si/Al2O3ヘテロエピタキシヤル成 SOI構造 Al2O3薄膜

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