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水素を含まない硬質炭素膜の生成と物性評価

水素を含まない硬質炭素膜の生成と物性評価
Paper図書
丸山, 一典, 長岡技術科学大学1998-1999<Y151-H10650689>
National Diet Library
  • Subject HeadingECRプラズマCVD 硬質炭素膜 熱腐蝕 RFバイアス マススペクトル ガス放出スペクトル

フロロカーボンプラズマにおける新しい壁制御法の開発とプラズマ・壁相互作用

フロロカーボンプラズマにおける新しい壁制御法の開発とプラズマ・壁相互作用
Paper図書
中村, 圭二, 中部大学1998-2000<Y151-H10680457>
National Diet Library
  • Subject Headingプラズマプロセス エツチング シリコン酸化膜 プラズマ・壁相互作用 RFバイアス イオン衝撃 壁制御 ラジカル脱離

レーザアブレーシヨンによる立方晶窒化ボロン(cBN)薄膜作製プロセスの開発

レーザアブレーシヨンによる立方晶窒化ボロン(cBN)薄膜作製プロセスの開発
Paper図書
須田, 義昭, 佐世保工業高等専門学校1995-1997<Y151-H07555104>
National Diet Library
  • Subject Heading立方晶窒化ボロン パルスレーザアブレーシヨン 六方晶窒化ボロン FT-IR Nd: YAG Laser RFバイアス KrFエキシマレーザ 発光スペクトル

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