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Walking Drive を用いた3自由度球面モータの開発

Walking Drive を用いた3自由度球面モータの開発
Paper図書
森脇俊道, 神戸大学 [著][森脇俊道]2002-2003<Y151-H14350072>
National Diet Library
  • Subject Heading球面モータ / Walking Drive / 圧電素子

Walking Driveによる超精密高速XYθテーブルの開発

Walking Driveによる超精密高速XYθテーブルの開発
Paper図書
社本, 英二, 神戸大学1998-1999<Y151-H10555041>
National Diet Library
  • Subject HeadingWalking Drive 圧電素子 超精密位置決め 送り装置 XYθテーブル 高剛性...

走査型電子顕微鏡内マイクロマニユフアクチヤリングの研究

走査型電子顕微鏡内マイクロマニユフアクチヤリングの研究
Paper図書
森脇, 俊道, 神戸大学1995-1996<Y151-H07455066>
National Diet Library
  • Subject Headingマイクロマニユフアクチヤリング 電子顕微鏡 楕円振動切削 切削力 ばり Walking Drive 超精密位置決め XYΘテーブル

Walking Driveによる同時3軸ナノメータ制御超精密加工機の開発

Walking Driveによる同時3軸ナノメータ制御超精密加工機の開発
Paper図書
森脇, 俊道, 神戸大学1994-<Y151-H06555039>
National Diet Library
  • Subject HeadingWalking Drive 超精密加工機 圧電素子 精密送りテーブル 超精密位置決め ...

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