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エッチングアプリ : 元人妻で幼馴染のお姉さん湊響子 (オトナ文庫 ; 407)

Paper図書

山野詠子著, マリン原作パラダイム2024.11<Y81-R1167>

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本当に実務に役立つプリント配線板のエッチング技術第2版

Paper図書

中川登志子, 雀部俊樹, 秋山政憲, 片庭哲也, 加藤凡典著, 神津邦男監修日刊工業新聞社2021.12<ND541-M11>

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Summary, etc.時代背景とエッチング技術の最近に進歩を背景に、新たなトラブルに関する対策を追記す...

半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術

Paper図書

R&D支援センター2022.10<ND371-R2>

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はじめての半導体ドライエッチング技術改訂版 (現場の即戦力)

Paper図書

野尻一男著技術評論社2020.11<ND371-M61>

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Toc / Article1 章　半導体集積回路の発展とドライエッチング技術 1.1　ドライエッチングの概要 1.2　ドライエッチングにおける評価パラメータ 1.3　LSI の高集積化にドライエッチング技術が果たす役割 2 章　ドライエッチングのメカニズム 2.1　プラズマ......ス内でのイオンの挙動 2.3　エッチングプロセスの組み立て方 3 章　各種材料のエッチング 3.1　ゲートエッチング 3.2　SiO2 エッチング 3.3　配線エッチング 3.4　まとめ 4 章　ドライエッチング装置 4.1　ドライエッチング装置の歴史 4.2　バレル型プ......ズマエッチャー 4.7　ドライエッチング装置の実例 4.8　静電チャック 5 章　ドライエッチングダメージ 5.1　Si 表層部......アップダメージ 6 章　新しいエッチング技術 6.1　Cu ダマシンエッチング 6.2　Low-k エッチング 6.3　ポーラスLow-k ......　メタルゲート/High-k エッチング 6.5　FinFET エッチング 6.6　マルチパターニング ......RAM 用高アスペクト比ホールエッチング 6.8　3D IC 用エッチング技術 7 章　アトミックレイヤーエッチング（ALE） 7.1　ALE の......7.6　まとめ 8 章　ドライエッチング技術の今後の課題と展望 8.1　ドライエッチングにおける技術革新 8.2　今後の課題と展望 8.3　エンジニ...
Summary, etc.「はじめての半導体ドライエッチング技術」が出版されてから 8......す。本書は、アトミックレイヤーエッチング（ALE）など新しい技術の解説や、ドライエッチング技術の今後の課題・展望についてなど、旧版に大幅に加筆訂正を行...
Author introduction...イスインテグレーション，ドライエッチングの研究開発に従事。特にECRプラズマエッチング，チャージアップダメージに関......年｢有磁場マイクロ波プラズマエッチング技術の開発と実用化｣で大河内記......受賞 1994年｢低温ドライエッチング装置の開発｣で機械振興協会賞通産大臣賞を受賞 2019年 D...