Search results for "エッチング" | NDL Search

Search results 871

Group by title

純情エッチング 2 (Manga time KR comics. Kirara menu ; 2114)

PaperDigital図書

まめ猫著芳文社2025.9<Y84-R26734>

National Diet LibraryOther Libraries in Japan

純情エッチング 1 (Manga time KR comics. Kirara menu ; 2073)

PaperDigital図書

まめ猫著芳文社2025.3<Y84-R18684>

National Diet LibraryOther Libraries in Japan

半導体製造におけるエッチング技術 (エレクトロニクスシリーズ)

Paper図書

篠田和典監修シーエムシー出版2025.8

National Diet LibraryOther Libraries in Japan

Toc / Article第1章　半導体製造におけるエッチング技術とその動向 1　半導体プラズマエッチングの基礎と発展 1.1　はじめに......援物理スパッタリング 1.3　エッチング技術における重要な概念 1.3.1　ドライエッチングの分類とエッチング形状 1.3.2　方向性加工の原理 1.4　プラズマエッチングの発展 1.5　課題と展望 1......2　先端半導体デバイスの動向とエッチングの最新技術 2.1　先端ロジッ...... 2.2　先端ロジックにおけるエッチングの課題と取組 2.2.1　Si/SiGe finエッチング 2.2.2　WFM形成プロセ.......3　まとめ第2章　ウェットエッチング 1　ウェットエッチングの基礎と不良対策 1.2　ウェットエッチングの基本プロセス 1.3　エッチングプロセス 1.3.1　エッチング機構 1.3.2　レジストマス......技術 2　半導体材料のウェットエッチング加工技術 2.1　半導体材料のウェットエッチングの特徴 2.2　半導体材料の代...... 2.3　半導体材料のウェットエッチング加工事例 2.4　今後の課題に......単結晶シリコンの異方性ウエットエッチング技術 3.1　はじめに 3.2　単結晶シリコンの異方性エッチング 3.2.1　結晶異方性エッチング 3.2.2　シリコン基板及びエッチング液 3.2.3　エッチング速度分布 3.2.4　エッチピ......ッドの発生 3.3　結晶異方性エッチングによるMEMS構造体 3.4　おわりに 4　GaNウエットエ...
Summary, etc.半導体製造で用いられるエッチングに焦点を当て、プラズマエッチング、ウェットエッチング、プラズマダメージ、シミュレーション、原子層エッチング、金属アシストエッチング等、基礎から最新技術までを纏めた一冊。

エッチングアプリ～小悪魔系ギャル神楽坂サララ～ (オトナ文庫 ; 443)

Paper図書

山野詠子著, マリン原作パラダイム2025.8

National Diet LibraryOther Libraries in Japan

Summary, etc.エッチングアプリ～小悪魔系ギャル/神楽坂サララ～

エッチングアプリ : 元人妻で幼馴染のお姉さん湊響子 (オトナ文庫 ; 407)

Paper図書

山野詠子著, マリン原作パラダイム2024.11<Y81-R1167>

National Diet LibraryOther Libraries in Japan

エッチングの高度化と3次元構造の作製技術

Paper図書

S&T出版2025.3<ND354-R10>

National Diet Library

酒井C19型5tDLの角度 : 冊子版 : 第19回軽便鉄道模型祭記念エッチング板組立参考資料改訂版

Paper図書

中部浩佐執筆・編集軽便鉄道模型祭事務局2025.7<Y93-R6458>

National Diet Library

栗鉄の小さな凸電とその仲間たち : 冊子版 : 第20回軽便鉄道模型祭記念エッチング板特典資料訂補

Paper図書

中部浩佐執筆・編集軽便鉄道模型祭事務局2025.6<Y93-R6459>

National Diet Library

窒化ケイ素に対するプラズマ支援原子層エッチングの表面反応機構

Digital博士論文障害者向け資料あり

テルセロ, ジョマルウニコ2024-09-25

Available onlineNational Diet LibraryOther Libraries in Japan

はじめての半導体ドライエッチング技術改訂版 (現場の即戦力)

Paper図書

野尻一男著技術評論社2020.11<ND371-M61>

National Diet LibraryOther Libraries in Japan

Toc / Article1 章　半導体集積回路の発展とドライエッチング技術 1.1　ドライエッチングの概要 1.2　ドライエッチングにおける評価パラメータ 1.3　LSI の高集積化にドライエッチング技術が果たす役割 2 章　ドライエッチングのメカニズム 2.1　プラズマ......ス内でのイオンの挙動 2.3　エッチングプロセスの組み立て方 3 章　各種材料のエッチング 3.1　ゲートエッチング 3.2　SiO2 エッチング 3.3　配線エッチング 3.4　まとめ 4 章　ドライエッチング装置 4.1　ドライエッチング装置の歴史 4.2　バレル型プ......ズマエッチャー 4.7　ドライエッチング装置の実例 4.8　静電チャック 5 章　ドライエッチングダメージ 5.1　Si 表層部......アップダメージ 6 章　新しいエッチング技術 6.1　Cu ダマシンエッチング 6.2　Low-k エッチング 6.3　ポーラスLow-k ......　メタルゲート/High-k エッチング 6.5　FinFET エッチング 6.6　マルチパターニング ......RAM 用高アスペクト比ホールエッチング 6.8　3D IC 用エッチング技術 7 章　アトミックレイヤーエッチング（ALE） 7.1　ALE の......7.6　まとめ 8 章　ドライエッチング技術の今後の課題と展望 8.1　ドライエッチングにおける技術革新 8.2　今後の課題と展望 8.3　エンジニ...
Summary, etc.「はじめての半導体ドライエッチング技術」が出版されてから 8......す。本書は、アトミックレイヤーエッチング（ALE）など新しい技術の解説や、ドライエッチング技術の今後の課題・展望についてなど、旧版に大幅に加筆訂正を行...
Author introduction...イスインテグレーション，ドライエッチングの研究開発に従事。特にECRプラズマエッチング，チャージアップダメージに関......年｢有磁場マイクロ波プラズマエッチング技術の開発と実用化｣で大河内記......受賞 1994年｢低温ドライエッチング装置の開発｣で機械振興協会賞通産大臣賞を受賞 2019年 D...