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電子情報通信学会電子情報通信学会1987.4-
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松島, 孝典, 中嶋, 正裕, 野本, 一貴, 佐藤, 政孝, 中村, 徹電子情報通信学会2006-11-17電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス106 379p.27-31
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清田, 幸弘, 小田, 克矢, 大植, 栄司, 速水, 礼子, 近藤, 将夫, 鷲尾, 勝由, 田邊, 正倫, 島本, 裕巳, 山口, 修, 稲田, 太郎電子情報通信学会2000-10-13電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス374p.39-43
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大西, 和博, 土屋, 龍太, 山内, 豪, 大塚, 文雄, 満田, 勝弘, 長谷, 昌俊, 中村, 徹, 川原, 尊之, 尾内, 享裕電子情報通信学会2002-01-15電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス573p.25-30
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