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スパッタ技術

スパッタ技術
PaperDigital図書
和佐清孝, 早川茂 著共立出版1988.6<ND371-E20>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Authority（Subject Heading/altLabel）スパッタ スパッタリング技術 スパッタリング法 スパッタ技術 Sputtering (Physics)

粒子状磁気記録媒体薄膜作製のための完全熱化高ガス圧スパツタ技術の開発

粒子状磁気記録媒体薄膜作製のための完全熱化高ガス圧スパツタ技術の開発
Paper図書
石井, 清, 宇都宮大学1997-1998<Y151-H09650379>
National Diet Library

Pulse-driven cylindrical magnetron sputtering for low-temperature and high-throughput deposition

Pulse-driven cylindrical magnetron sputtering for low-temperature and high-throughput deposition
Paper博士論文
Cheng Shih Wang [著][Cheng Shih Wang][2006]<UT51-2006-N506>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Alternative Title低温、高スループット化を目指したパルス駆動円筒マグネトロンスパッタ技術
  • Alternative Title低温、高スループット化を目指したパルス駆動円筒マグネトロンスパッタ技術

Pulse-driven cylindrical magnetron sputtering for low-temperature and high-throughput deposition

Pulse-driven cylindrical magnetron sputtering for low-temperature and high-throughput deposition
Digital文書・図像類
Cheng, Shih Wang金沢大学2007-03-01博士学位論文要旨　論文内容の要旨および論文審査結果の要旨／金沢大学大学院自然科学研究科平成19年3月p.249-258
Other Libraries in Japan
  • Alternative Title低温、高スループット化を目指したパルス駆動円筒マグネトロンスパッタ技術
  • Alternative Title低温、高スループット化を目指したパルス駆動円筒マグネトロンスパッタ技術

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