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Comprehensive microsystems / editors-in-chief, Yogesh B. Gianchandani, Osamu Tabata, Hans Zappe.
Comprehensive microsystems / editors-in-chief, Yogesh B. Gianchandani, Osamu Tabata, Hans Zappe.
紙
図書
Elsevier
c2008.
<ND416-B19>
国立国会図書館
著者標目(識別子)
00674558
シリコンマイクロ加工の基礎
シリコンマイクロ加工の基礎
紙
図書
M.エルベンスポーク, H.V.ヤンセン 著, 田畑修, 佐藤一雄 訳
シュプリンガー・フェアラーク東京
2001.12
<ND371-G193>
国立国会図書館
全国の図書館
著者標目(識別子)
00865923 00865924
00674558
00865926
「第1回CAD for MEMS Workshop」報告書
「第1回CAD for MEMS Workshop」報告書
紙
図書
田畑修 [著]
次世代センサ協議会
1997.5
<NB21-G36>
国立国会図書館
全国の図書館
著者標目(識別子)
00674558
シリコン微細加工技術を応用した圧力の流れの計測手法に関する研究
シリコン微細加工技術を応用した圧力の流れの計測手法に関する研究
紙
デジタル
博士論文
障害者向け資料あり
田畑修 [著]
<UT51-93-D17>
インターネットで読める
国立国会図書館
著者標目(識別子)
00674558
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