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イオンビーム・プラズマ援用超微粒子加速衝撃法によるダイヤモンド状膜の形成

イオンビーム・プラズマ援用超微粒子加速衝撃法によるダイヤモンド状膜の形成
紙図書
井出, 敞, 愛媛大学2000-2001<Y151-H12650716>
国立国会図書館
  • 件名DLC膜 炭素超微粒子 静電加速法 高周波プラズマ援用 磁場援用 イオンエツチング効果 超微粒子分散 超微粒子供給

エッチングおよび界面制御効果による高結晶性一軸配向多結晶Si膜の低温作製

エッチングおよび界面制御効果による高結晶性一軸配向多結晶Si膜の低温作製
紙図書
長谷川誠一, 金沢大学1997-1999<Y151-H09450124>
国立国会図書館
  • 件名多結晶シリコン 界面制御 結晶構造 基板のプラズマ処理 一軸配向 エツチング効果 結合構造 表面モフオロジー

エッチングおよび界面制御効果による高結晶性一軸配向多結晶Si膜の低温作製

エッチングおよび界面制御効果による高結晶性一軸配向多結晶Si膜の低温作製
デジタル文書・図像類
長谷川, 誠一, Hasegawa, Seiichi2001-10-22平成11(1999)年度 科学研究費補助金 基盤研究(B) 研究成果報告書概要 = 1999 Fiscal Year Final Research Report Summary1997 – 1999p.3p.-
全国の図書館
  • 件名多結晶シリコン シリコン・ナノ結晶 結晶構造 界面制御 エッチング効果 基板のプラズマ処理 一軸配向 表面モフォロジー Poly-...

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