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シリコン引上単結晶酸素濃度分布(半径方向)のシミユレーシヨン
シリコン引上単結晶酸素濃度分布(半径方向)のシミユレーシヨン
紙
図書
菅原, 活郎, 日本大学
1998-2000
<Y151-H10650019>
国立国会図書館
件名
シリコン単結晶
シリコン融液
内対流
シリコン融液
・石英るつぼ反応 SiO蒸発 酸素偏析 差分法 有限要素法
金属性融体における液柱マランゴニ対流不安定性の動的観察
金属性融体における液柱マランゴニ対流不安定性の動的観察
紙
図書
日比谷孟俊, 首都大学東京 [著]
[日比谷孟俊]
2004-2006
<Y151-H16360377>
国立国会図書館
件名
半導体
シリコン融液
/ マランゴニ対流 / 不安定性 / 酸素分圧 / 低プラ...
シリコン融液
/石英ガラス接触系における非平衡高温熱化学反応機構の解明に関する研究
シリコン融液/石英ガラス接触系における非平衡高温熱化学反応機構の解明に関する研究
紙
図書
干川, 圭吾, 信州大学
2001-2002
<Y151-H13450010>
国立国会図書館
件名
シリコン融液
石英るつぼ 高温熱化学反応 物質移動 ドロツプ法 計算解析...
The wettability and reaction of liquid silicon to various refractory materials
The wettability and reaction of liquid silicon to various refractory materials
デジタル
文書・図像類
寺嶋, 一高, 松本, 健, 西村, 鈴香, 正木, 匡彦, 伊丹, 俊夫, Terashima, Kazutaka, Matsumoto, Takeshi, Nishimura, Suzuka, Masaki, Tadahiko, Itami, Toshio
宇宙開発事業団
2001-03-01
宇宙開発事業団技術報告 = NASDA Technical Memorandum
p.125-129
全国の図書館
件名
液状シリコン 耐火材 湿潤性 窒化ほう素基板
シリコン融液
接触角 SIMS 2次イオン質量分析 ほう素原子 固溶限界...
一般注記
窒化ほう素基板への
シリコン融液
の湿潤性を温度および保持時間の...
...。この結果は、窒化ほう素基板は
シリコン融液
内のほう素濃度が固溶限界に達するまで、液状シリコンと化学的に...
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