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検索結果 3 件

電子照射によるナノファブリケーションの基礎

電子照射によるナノファブリケーションの基礎
紙図書
竹田精治, 大阪大学 [著][竹田精治]2003-2006<Y151-H15201026>
国立国会図書館
  • 件名電子照射 / ナノファブリケーション / 透過電子顕微鏡 / シリコン / 電子励起 / ナノ触...

3次元ナノメートル分析技術の開発

3次元ナノメートル分析技術の開発
紙図書
高井, 幹夫, 大阪大学1996-1998<Y151-H08044148>
国立国会図書館
  • 件名イオンマイクロプローブ 集束イオンビーム TOF-SIMS ナノフアブリケーシヨン ナノメートル3次元分析 電界放射電子源 プロセス誘起欠陥 ...

電子ビーム誘起効果を用いた選択成長によるナノファブリケーション

電子ビーム誘起効果を用いた選択成長によるナノファブリケーション
デジタル文書・図像類
森本, 章治, Morimoto, Akiharu2016-04-21平成16(2004)年度 科学研究費補助金 萌芽研究 研究概要 = 2004 Research Project Summary2003 – 2004p.2p.-
全国の図書館
  • 件名ナノファブリケーション技術 炭化水素膜 電子ビーム ......電子ビーム誘起効果 選択成長 ナノファブリケーション 有機薄膜 成長核 ステンシルマスク 紫外線ナノ秒パルスレー...
  • 一般注記...集積電子デバイス実現のためにはナノファブリケーション技術が必要である。本研究では、......誘起効果を用いた選択成長によるナノファブリケーション」研究成果報告書　課題番号15651049（KAKEN：科学...

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