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プラズマの異常加熱された電子を利用したSiOx薄膜作成とバリアフィルムへの応用
プラズマの異常加熱された電子を利用したSiOx薄膜作成とバリアフィルムへの応用
紙
図書
稲垣訓宏, 静岡大学 [著]
[稲垣訓宏]
2005-2006
<Y151-H17350106>
国立国会図書館
件名
酸素ガスバリアー / 水蒸気ガスバリアー / ポリエチレンナフタレート /
パルスプラズマ
/ SiOx / プラズマポリマー
量子化材料ネオシリコンの開発と単電子デバイス応用
量子化材料ネオシリコンの開発と単電子デバイス応用
紙
図書
小田, 俊理, 東京工業大学
1999-2001
<Y151-H11355014>
国立国会図書館
件名
ナノ結晶シリコン
パルスプラズマ
プロセス シリコン表面 微細加工プロセス 単電子トンネル 量...
高電圧・極短
パルスプラズマ
によるCVD表面反応の能動的制御
高電圧・極短パルスプラズマによるCVD表面反応の能動的制御
紙
図書
岡崎, 健, 東京工業大学
1992-1993
<Y151-H04452147>
国立国会図書館
件名
プラズマCVD ラジカル反応
パルスプラズマ
反応制御 ダイヤモンド 核発生 表面反応
高真空プロセス用の高密度プラズマパルスの発生とそれを用いた表面過程の解明
高真空プロセス用の高密度プラズマパルスの発生とそれを用いた表面過程の解明
紙
図書
尾笹, 一成, 理化学研究所
1994-1995
<Y151-H06452225>
国立国会図書館
件名
プラズマ ガス
パルスプラズマ
プラズマパルス 水素プラズマ ヘリウムプラズマ イオン電流...
磁場・
パルスプラズマ
援用化学気相成長法による環境セル型透過電子顕微鏡用隔膜の開発
磁場・パルスプラズマ援用化学気相成長法による環境セル型透過電子顕微鏡用隔膜の開発
デジタル
その他
松谷, 貴臣, 川﨑, 忠寛
近畿大学
2017
科学研究費助成事業研究成果報告書 (2016)
p.1-6
全国の図書館
要約等
...目し、その作製手法として磁場・
パルスプラズマ
援用化学気相成長法（MPECVD）を開発した。a-SiCN隔...
件名
環境セル 隔膜 磁場
パルスプラズマ
化学気相成長法 窒化物薄膜 アモルファス 雰囲気内顕微 鏡...
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