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- 件名フッ素添加 高信頼性化機構 ゲート絶縁膜 a-InGaZnO
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- 件名シリカ系ガラス材料 / リサイクル / フッ素添加酸化 (SiOF) / ブラウン管 (CRT) / 液相成長...
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- 件名シリカ シリコン熱酸化膜 フオトルミネセンス 点欠陥 シリコン埋め込み酸化膜 フツ素添加SiO2 シリコン窒化膜
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