白石賢二, 筑波大学 [著][白石賢二]2002-2003<Y151-H14550020>
国立国会図書館
- 件名第一原理計算 / シリコン / 酸化膜 / 界面 / 拡散 / プロセスシミュレーション / 歪み / 欠陥
平尾雅彦, 東京大学 [著][平尾雅彦]2003-2005<Y151-H15360417>
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- 件名化学プロセス / 環境影響 / ライフサイクルアセスメント / 多目的関数最適化 / プロセスシミュレーション / パレート最適化 / PETリサイクル / 情報基盤
東稔, 節治, 大阪大学1996-1997<Y151-H08555190>
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- 件名膜分離 浸透気化 DMC TAME MTBE プロセスシミユレーシヨン メタノール 有機-無機ハイブリツド膜
佐藤, 一雄, 名古屋大学1998-1999<Y151-H10044149>
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- 件名モデリング 水酸化カリウム エツチング速度 シリコン単結晶 結晶異方性エツチング プロセスシミユレーシヨン マイクロマシン
佐藤, 一雄, 名古屋大学1996-1997<Y151-H08455045>
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- 件名シリコン 異方性エツチング 水酸化カリウム (KOH) TMAH エツチング速度 面粗さ プロセスシミユレーシヨン マイクロマシン