中島寛, 九州大学 [著][中島寛]2006-2007<Y151-H18360152>
国立国会図書館
- 件名高誘電率絶縁膜 / シリコン / 電子サイクロトロン共鳴プラズマ / 省電力LSI / Hf酸化膜 / メタルゲート / TaN / 仕事関数
中島安理, 広島大学 [著][中島安理]2001-2003<Y151-H13450129>
国立国会図書館
- 件名メタルゲート / 高誘電率金属酸化物 / ゲート絶縁膜 / スタック構造...
大見, 忠弘, 東北大学1993-1994<Y151-H05402039>
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- 件名メタルゲート電極 高誘電率ゲート絶縁膜 金属基板 コンタクト抵抗 銅配線...
大見, 忠弘, 東北大学1990-1991<Y151-H02402031>
国立国会図書館
- 件名メタルゲート自己整合MOSFET イオン注入層低温アニール Cu配線技術...
安藤, 崇志
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- 件名High-k Metal Gate Mobility CMOS DRAM 高誘電率 メタルゲート 移動度