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NF3プラズマアシスト反応およびNF3熱化学反応によるSiCのフツ素化
NF3プラズマアシスト反応およびNF3熱化学反応によるSiCのフツ素化
紙
図書
田坂, 明政, 同志社大学
1999-2000
<Y151-H11650864>
国立国会図書館
件名
三フツ化窒素
炭化ケイ素 反応性イオンエツチング 平滑化 異方性エツチン...
半導体製造工程から排出される
三フツ化窒素
の化学的固定による無害化システムの確立
半導体製造工程から排出される三フツ化窒素の化学的固定による無害化システムの確立
紙
図書
山本, 秀樹, 関西大学
1999-2000
<Y151-H11650788>
国立国会図書館
件名
特殊ガス 無害化 半導体製造
三フツ化窒素
塩化カルシウム 化学反応 フツ化カルシウム 温室効果
活性フツ素を利用した気相法による炭素材料の合成
活性フツ素を利用した気相法による炭素材料の合成
紙
図書
小久見, 善八, 京都大学
1995-1996
<Y151-H07455426>
国立国会図書館
件名
活性フツ素 気相法 プラズマ 炭素 薄膜
三フツ化窒素
四重極質量分析計 ベンゼン
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