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変調操作を用いた非定常状態の積極利用によるULSI積層配線作製プロセスの高度化
変調操作を用いた非定常状態の積極利用によるULSI積層配線作製プロセスの高度化
紙
図書
霜垣, 幸浩, 東京大学
1999-2000
<Y151-H11450269>
国立国会図書館
件名
CVD バリアメタル 変調操作 核発生 薄膜成長 結晶化
不純物制御
比抵抗
境界プラズマの電位形成と輸送の運動論的解析
境界プラズマの電位形成と輸送の運動論的解析
紙
図書
佐藤邦弘, 姫路工業大学
1994-1995
<Y151-H06680483>
国立国会図書館
件名
ダイバータ
不純物制御
プラズマーガス相互作用 熱電熱係数 イオン分極ドリフト 電...
核融合周辺プラズマにおけるアーク現象と共堆積膜中への水素同位体吸蔵に関する研究
核融合周辺プラズマにおけるアーク現象と共堆積膜中への水素同位体吸蔵に関する研究
デジタル
文書・図像類
上杉, 喜彦, Uesugi, Yoshihiko
2016-06-22
平成27(2015)年度 科学研究費補助金 基盤研究(B) 研究成果報告書 = 2015 Fiscal Year Final Research Report
2013-04-01 – 2016-03-31
p.6p.-
全国の図書館
件名
トリチウム吸蔵制御 不純物堆積膜 核融合周辺プラズマ 反応性プラズマ
不純物制御
定常化研究における第一壁のコンデイシヨニング法
定常化研究における第一壁のコンデイシヨニング法
紙
図書
菅井, 秀郎, 名古屋大学
1994-1995
<Y151-H06452419>
国立国会図書館
件名
第一壁コンデイシヨニング ボロンコーテイング リチウムコーテイング 水素リサイクリング 酸素ゲツタリング
不純物制御
デカボラン ECRプラズマ
窒素スカベンジャーを利用した不純物共堆積膜中への水素同位体吸蔵の制御
窒素スカベンジャーを利用した不純物共堆積膜中への水素同位体吸蔵の制御
デジタル
文書・図像類
上杉, 喜彦, Uesugi, Yoshihiko
金沢大学理工研究域電子情報通信学系
2019-06-18
平成30(2018)年度 科学研究費補助金 基盤研究(B) 研究成果報告書 = 2018 Fiscal Year Final Research Report
2016-04-01 - 2019-03-31
p.4p.-
全国の図書館
件名
制御熱核融合 プラズマー壁相互作用 トリチウム吸蔵 レーザ誘起ブレイクダウン分光法 不純物共堆積膜 核融合周辺プラズマ
不純物制御
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