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空圧アクチュエータを内蔵した高真空対応型非接触・精密
位置決め機構
の開発
空圧アクチュエータを内蔵した高真空対応型非接触・精密位置決め機構の開発
紙
図書
吉本成香, 東京理科大学 [著]
[吉本成香]
2006-2007
<Y151-H18560142>
国立国会図書館
件名
静圧空気軸受 / 真空度 /
位置決め機構
/ 表面絞り
高真空チヤンバ内高速・高精度非接触
位置決め機構
用静圧空気軸受の開発
高真空チヤンバ内高速・高精度非接触位置決め機構用静圧空気軸受の開発
紙
図書
吉本, 成香, 東京理科大学
2000-2001
<Y151-H12650147>
国立国会図書館
件名
静圧空気軸受 高真空
位置決め機構
非接触案内 シール性能
磁気ヘッド
位置決め機構
における追従制御の広帯域化に関する研究
磁気ヘッド位置決め機構における追従制御の広帯域化に関する研究
紙
図書
山浦弘, 東京工業大学 [著]
[山浦弘]
2002-2003
<Y151-H14550211>
国立国会図書館
件名
位置決め機構
/ 追従制御 / サーボ帯域 / オブザーバ / ディジタ...
半浮上すべり送りねじの開発と応用に関する研究
半浮上すべり送りねじの開発と応用に関する研究
紙
図書
深田, 茂生, 信州大学
2000-2001
<Y151-H12650140>
国立国会図書館
件名
送りねじ すべりねじ
位置決め機構
空気圧 半浮上状態 円筒モデル
圧電素子を用いた超精密自動組立機構の開発
圧電素子を用いた超精密自動組立機構の開発
紙
図書
山形, 豊, 神奈川科学技術アカデミー
1995-1996
<Y151-H07650317>
国立国会図書館
件名
圧電素子 精密
位置決め機構
自動組立 適応制御
楕円軸を利用した超小型圧電モータの開発
楕円軸を利用した超小型圧電モータの開発
紙
図書
久曽神, 煌, 長岡技術科学大学
1993-1994
<Y151-H05650143>
国立国会図書館
件名
摩擦力 衝撃力 XYΓ
位置決め機構
慣性移動機構 圧電素子
宇宙空間及び高真空用ロボツトマニピユレータのためのアクチユエータの開発
宇宙空間及び高真空用ロボツトマニピユレータのためのアクチユエータの開発
紙
図書
遠山, 茂樹, 東京農工大学
1990-1992
<Y151-H02650110>
国立国会図書館
件名
超音波モータ ロボツト
位置決め機構
アクチユエータ
圧電素子ヒステリシス補償による6自由度超高精度微動台の開発
圧電素子ヒステリシス補償による6自由度超高精度微動台の開発
紙
図書
久曽神, 煌, 長岡技術科学大学
1997-1998
<Y151-H09650161>
国立国会図書館
件名
圧電素子 アクチユエータ 高精度
位置決め機構
オープンループ制御 ヒステリシス非線形性 多項式近似 線形...
フレキシブルな機構の高速駆動・位置決め制御に関する研究
フレキシブルな機構の高速駆動・位置決め制御に関する研究
紙
図書
小野, 京右, 東京工業大学
1986-1987
<Y151-S61550182>
国立国会図書館
件名
過渡振動 最適制御理論 可〓機構系 可〓梁 アクセス制御
位置決め機構
フイードフオワード制御 フイードバツク制御
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