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ナノ加工・計測のための気圧管理可能な環境一定制御チャンバーの実用化
ナノ加工・計測のための気圧管理可能な環境一定制御チャンバーの実用化
紙
図書
山口勝己, 大阪府立産業技術総合研究所 [著]
[山口勝己]
2005-2006
<Y151-H17560112>
国立国会図書館
件名
環境補償 / 環境一定制御チャンバー / レーザ干渉測長器 / 超精密加工 / 気圧 / 温度 / 湿度 /
位置決め精度
ナノメートル精度を有する磁気軸受の試作
ナノメートル精度を有する磁気軸受の試作
紙
図書
進士, 忠彦, 東京工業大学
1999-2000
<Y151-H11555049>
国立国会図書館
件名
磁気軸受 静電容量型変位計
位置決め精度
回転精度 真円度 ナノメートル
平衡安定型マニピユレータの開発
平衡安定型マニピユレータの開発
紙
図書
梅田, 幹雄, 京都大学
1995-1997
<Y151-H07556143>
国立国会図書館
件名
スイカ 真空パツド
位置決め精度
位置誤差許容値 スイカ収穫 画像処理
超精密磁気軸受の試作研究
超精密磁気軸受の試作研究
紙
図書
下河辺, 明, 東京工業大学
1995-1996
<Y151-H07555051>
国立国会図書館
件名
磁気軸受 最適制御 繰り返し制御 形状誤差 回転精度
位置決め精度
微小物体の力学的挙動制御のためのエネルギー遷移モデル体系の構築
微小物体の力学的挙動制御のためのエネルギー遷移モデル体系の構築
紙
図書
佐藤, 知正, 東京大学
1997-1998
<Y151-H09450102>
国立国会図書館
件名
付着力 静電力 表面エネルギー 弾性エネルギー
位置決め精度
マイクロマニピユレーシヨン 電子顕微鏡 力測定
摩擦駆動による超高速・超精密位置決めの研究
摩擦駆動による超高速・超精密位置決めの研究
紙
図書
大塚, 二郎, 静岡理工科大学
1992-1993
<Y151-H04402027>
国立国会図書館
件名
摩擦駆動 超精密位置決め 超高速位置決め ナノメータ
位置決め精度
環境および作業に対して自律的に構造を適応化する多機能ロボットメカニズムの研究
環境および作業に対して自律的に構造を適応化する多機能ロボットメカニズムの研究
デジタル
文書・図像類
立矢, 宏, Tachiya, Hiroshi
2016-04-21
平成14(2002)年度 科学研究費補助金 若手研究(B) 研究概要 = 2002 Research Rroject Summary
2001 – 2002
p.1p.-
全国の図書館
件名
ロボット メカニズム 可変構造 適応化 剛性 動的駆動特性 パラレルメカニズム ロボットハンド 最適化
位置決め精度
動的特性
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