山田, 公, 京都大学1992-1994<Y151-H04555003>
国立国会図書館
- 件名ガスクラスター 高密度照射効果 低エネルギーイオンビーム ラテラルスパツタ イオン注入 表面クリーニング 薄膜形成 ...
蒲生, 健次, 大阪大学1991-1992<Y151-H03555003>
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- 件名集束イオンビーム加工 低損傷プロセス 低エネルギーイオンビーム 減速電界レンズ系 イオンビーム支援エツチング イオン照射損...
谷川, 隆夫, 東海大学1989-1990<Y151-H01460251>
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