原, 徹, 法政大学2000-2002<Y151-H12650323>
国立国会図書館
- 件名超LSI高速化 多層配線層 低誘電率層間膜 耐熱性向上 定着力向上 界面反応
坪内, 和夫, 東北大学1996-1998<Y151-H08555073>
国立国会図書館
- 件名多層配線 Al CVD ClF3クリーニング クラスター装置
吉川, 公麿, 広島大学1999-2001<Y151-H11450126>
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- 件名低誘電率膜 有機膜 多層配線 集積回路 銅配線 ポ-ラス 金属電極 拡散速度
北村, 隆行, 京都大学1995-1996<Y151-H07650100>
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- 件名LSI 多層配線 ビア孔 リフロー 表面拡散 計算機シミユレーシヨン 差分法...