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多重内部反射赤外分光による半導体表面水素反応ダイナミクスの研究

多重内部反射赤外分光による半導体表面水素反応ダイナミクスの研究
紙図書
庭野, 道夫, 東北大学1999-2001<Y151-H11304018>
国立国会図書館
  • 件名半導体 赤外分光 多重内部反射 表面 吸着・脱離 反応機構 酸化

Siウエーハ表面汚染インライン赤外診断装置の開発研究

Siウエーハ表面汚染インライン赤外診断装置の開発研究
紙図書
庭野, 道夫, 東北大学1998-2000<Y151-H10555113>
国立国会図書館
  • 件名半導体 赤外分光 多重内部反射 表面汚染 有機物 インライン・モニタ 大口径ウエーハ

赤外分光と光電子分析による動作環境下にある有機デバイスの"その場"評価

赤外分光と光電子分析による動作環境下にある有機デバイスの"その場"評価
紙図書
石井久夫, 東北大学 [著][石井久夫]2003-2005<Y151-H15350075>
国立国会図書館
  • 件名有機半導体 / 多重内部反射型赤外分光 / 有機トランジスタ / ドーピング / 変位電...

赤外反射分光法による半導体結晶表面の原子制御計測の開発

赤外反射分光法による半導体結晶表面の原子制御計測の開発
紙図書
庭野, 道夫, 東北大学1993-1995<Y151-H05555109>
国立国会図書館
  • 件名赤外反射分光 半導体表面 原子制御計測 多重内部反射 その場観察 固液界面 半導体プロセス

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