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検索結果 5 件

常温接合によるウエハスケールMEMSパッケージ

常温接合によるウエハスケールMEMSパッケージ
紙図書
須賀唯知, 東京大学 [著][須賀唯知]2004-2006<Y151-H16201028>
国立国会図書館
  • 件名酸素プラズマ / 低温接合 / 常温接合 / 表面活性化 / サファイア接合 / ウエハ接合 / シ...

異種材料の可逆的インターコネクシヨンに関する研究

異種材料の可逆的インターコネクシヨンに関する研究
紙図書
須賀, 唯知, 東京大学1995-1996<Y151-H07455285>
国立国会図書館
  • 件名常温接合 分離 水素 水素吸蔵合金 可逆的インターコネクシヨン 環境...

マイクロマシン要素のアセンブリ装置の開発

マイクロマシン要素のアセンブリ装置の開発
紙図書
須賀, 唯知, 東京大学1993-1994<Y151-H05555020>
国立国会図書館
  • 件名マイクロマシン アセンブリ 微小接合 表面活性化 常温接合 マニピユレータ

圧電材料の低温接合とその応用に関する研究

圧電材料の低温接合とその応用に関する研究
紙図書
須賀, 唯知, 東京大学1993-1994<Y151-H05452289>
国立国会図書館
  • 件名圧電材料 低温接合 常温接合 陽極接合 シリコン イオン衝撃 ラジカルビーム 表面活性化

超音波援用超高真空常温接合の研究

超音波援用超高真空常温接合の研究
紙図書
須賀, 唯知, 東京大学1987-1988<Y151-S62460189>
国立国会図書館
  • 件名超高真空 超音波接合 セラミツクス 接合 常温接合

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