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制御モデルと計測基準を内在する高精密加工機に関する研究

制御モデルと計測基準を内在する高精密加工機に関する研究
紙図書
松原厚, 京都大学 [著][松原厚]2006-2007<Y151-H18560103>
国立国会図書館
  • 件名NC工作機械 / 平面度 / 機械計測 / 高精密加工 / 送り系

音響の周波数を利用した加工物表面あらさと平面度の新しい測定方法の研究

音響の周波数を利用した加工物表面あらさと平面度の新しい測定方法の研究
紙図書
一宮, 亮一, 福山大学2001-2002<Y151-H13650140>
国立国会図書館
  • 件名測定 あらさ 平面度 うねり 周波数 音響

近赤外光干渉法によるシリコン単結晶平面ミラーの絶対形状測定法の研究

近赤外光干渉法によるシリコン単結晶平面ミラーの絶対形状測定法の研究
紙図書
打越純一, 大阪大学 [著][打越純一]2001-2003<Y151-H13650119>
国立国会図書館
  • 件名近赤外光 / 絶対形状 / 形状測定 / 平面度 / シリコンミラー / フィゾー干渉計 / 近赤外半導体レ...

形状評価のマルチスケール化に関する基礎研究

形状評価のマルチスケール化に関する基礎研究
紙図書
笹島, 和幸, 東京工業大学1998-1999<Y151-H10450063>
国立国会図書館
  • 件名形状測定 マルチスケール 画像計測 干渉計測 ステイツチング 表面粗さ 平面度 顕微鏡

形状測定データのマルチスケール化と圧縮法

形状測定データのマルチスケール化と圧縮法
紙図書
塚田, 忠夫, 東京工業大学1997-1998<Y151-H09305013>
国立国会図書館
  • 件名形状測定 マルチスケール 画像計測 干渉計測 ステイツチング 表面粗さ 平面度 顕微鏡

超精密旋盤用真空チヤツク面の熱変形・弾性変形による形状変化

超精密旋盤用真空チヤツク面の熱変形・弾性変形による形状変化
紙図書
横山, 和宏, 新潟大学1988-1989<Y151-S63550101>
国立国会図書館
  • 件名超精密旋盤 主軸 真空チヤツク 温度上昇 平面度 熱変形 弾性変形 アンバランス

超精密加工機械案内面のうねり形状測定における高精度化と迅速化に関する研究

超精密加工機械案内面のうねり形状測定における高精度化と迅速化に関する研究
紙図書
清野, 慧, 東北大学1985-1986<Y151-S60550080>
国立国会図書館
  • 件名形状測定 平面度 精密水準器 2点法 3角形連鎖法 デイジタルフイルタ

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