山本和弘, 産業技術総合研究所 [著][山本和弘]2005-2006<Y151-H17560299>
国立国会図書館
- 件名イオン注入 / シリコン / ボロン / 超低エネルギー / 極浅接合
節原裕一, 大阪大学 [著][節原裕一]2003-2005<Y151-H15360388>
国立国会図書館
- 件名半導体極浅接合 / フォノン励起 / 超短パルスレーザー / ミリ波照射 ...
桑野, 博, 慶応義塾大学1994-1995<Y151-H06452233>
国立国会図書館
- 件名ボロン拡散 シリコン 極浅接合 ドーパント分布のモデリング 急速熱拡散 元素ボロン拡散源
酒井, 滋樹京都大学 (Kyoto University)2009-03-23
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- 件名イオン注入 極浅接合形成 帯電緩和 高周波プラズマ