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減圧CVD
成膜における気相反応の電界制御
減圧CVD成膜における気相反応の電界制御
紙
図書
足立元明, 大阪府立大学 [著]
[足立元明]
2001-2003
<Y151-H13450329>
国立国会図書館
件名
減圧CVD
/ 薄膜 / イオンクラスター / UV励起 / 光電子放...
原料ガスのイオン化による無発塵CVD成膜装置の開発
原料ガスのイオン化による無発塵CVD成膜装置の開発
紙
図書
足立, 元明, 大阪府立大学
1997-1999
<Y151-H09555240>
国立国会図書館
件名
減圧CVD
薄膜 イオンクラスター UV励起 光電子放出 イオン化 T...
シリコン量子構造体の形成・物性制御と室温動作デバイスへの応用
シリコン量子構造体の形成・物性制御と室温動作デバイスへの応用
紙
図書
宮崎, 誠一, 広島大学
1998-2000
<Y151-H10305026>
国立国会図書館
件名
シリコン 量子構造 量子ドツト
減圧CVD
自己組織化形成 原子間力顕微鏡 選択成長 表面化学結合
光・プラズマ2重励起による半導体SiCの低温エピタキシヤル成長
光・プラズマ2重励起による半導体SiCの低温エピタキシヤル成長
紙
図書
西野, 茂弘, 京都工芸繊維大学
1989-1990
<Y151-H01550016>
国立国会図書館
件名
プラズマCVD 光CVD
減圧CVD
立方晶SiC 3C SiC ヘテロエピタキシー 結晶成長 ...
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