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励起ガス雰囲気下の
表面プロセス
の光・イオンによる同時その場観察
励起ガス雰囲気下の表面プロセスの光・イオンによる同時その場観察
紙
図書
片山, 光浩, 大阪大学
2000-2002
<Y151-H12305005>
国立国会図書館
件名
励起ガス雰囲気下
表面プロセス
低速イオン散乱反跳分光法 全反射赤外分光法 表面水素 吸着...
気相雰囲気における半導体
表面プロセス
のイオンビームその場計測法の開拓
気相雰囲気における半導体表面プロセスのイオンビームその場計測法の開拓
紙
図書
尾浦, 憲治郎, 大阪大学
1999-2001
<Y151-H11305006>
国立国会図書館
件名
気相雰囲気下半導体
表面プロセス
CAICISS TOF-ERDA 表面水素 水素サーフアク...
超高真空非接触・非破壊容量-電圧測定システムの開発
超高真空非接触・非破壊容量-電圧測定システムの開発
紙
図書
長谷川, 英機, 北海道大学
1996-1998
<Y151-H08555072>
国立国会図書館
件名
非接触・C-V 超高真空一貫システム 表面・界面準位
表面プロセス
フエルミ準位ピンニング 水素終端シリコン表面 極博絶縁膜 ...
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