検索結果 7 件
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国立国会図書館
- 件名半導体超微細化 / プラズマ加工 / マイクロマシン / プラズマ測定 / 高周波プラズマ / マイクロナノデバイス / ナノ材料 / 電子エネルギー分布
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- 件名衝突輻射モデル / 電子エネルギー分布関数 / 分光計測 / 希ガスプラズマ / アルゴンプラズマ...
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- 件名負イオン注入 負イオンビーム輸送 チヤージアツプ 二次電子エネルギー分布 二次電子放出比 帯電緩和 絶縁物 ゲート酸化膜
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- 件名水素負イオン,プラズマ物理,電子エネルギー分布,ビーム引き出し,PICモデル,ビームハロ,表面生成,メニス...