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超クリ-ン・真空環境用高出力静電浮上リニアモ-タ
超クリ-ン・真空環境用高出力静電浮上リニアモ-タ
紙
図書
樋口, 俊郎, 東京大学
2000-2002
<Y151-H12355011>
国立国会図書館
件名
静電モ-タ
リニアモ-タ 非接触浮上 静電浮上 真空 クリ-ンル-ム ...
生物の筋肉をモデルとした集積型微小静電アクチユエータの開発
生物の筋肉をモデルとした集積型微小静電アクチユエータの開発
紙
図書
壁井, 信之, 東京女子医科大学
1990-1992
<Y151-H02452133>
国立国会図書館
件名
筋肉 静電気
静電モータ
アクチユエータ リニアモータ 誘電体 マイクロマシン 微細...
生物の筋肉をモデルとした集積形微小
静電モータ
の開発
生物の筋肉をモデルとした集積形微小静電モータの開発
紙
図書
壁井, 信之, 東京女子医科大学
1987-1989
<Y151-S62550185>
国立国会図書館
件名
静電モータ
静電エネルギー 筋肉 アクチユエータ 誘電体 電極
プラズマ重合レジストを用いたマイクロメカニカルデバイス立体加工法の開発とその応用
プラズマ重合レジストを用いたマイクロメカニカルデバイス立体加工法の開発とその応用
紙
図書
森田, 慎三, 名古屋大学
1989-1992
<Y151-H01460101>
国立国会図書館
件名
プラズマ重合レジスト 電子線リソグラフイ立体加工法 プラズマ重合スチレンネガレジスト プラズマ重合αメチルスチレンネガレジスト サブミクロンパターン加工 キヤリヤーガス効果
静電モータ
ー加工
検索結果は以上です。
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