秋本晃一, 名古屋大学 [著][秋本晃一]2004-2006<Y151-H16340088>
国立国会図書館
- 件名シンクロトロン放射光 / 高誘電率絶縁膜 / X線 / 結晶構造 / 構造相転移 / 光電子分光
中島寛, 九州大学 [著][中島寛]2006-2007<Y151-H18360152>
国立国会図書館
- 件名高誘電率絶縁膜 / シリコン / 電子サイクロトロン共鳴プラズマ / 省電...
鳥海明, 東京大学 [著][鳥海明]2001-2005<Y151-H13852009>
国立国会図書館
- 件名高誘電率絶縁膜 / High-k膜 / HfO_2 / Y-doped H...
中島寛, 九州大学 [著][中島寛]2004-2005<Y151-H16360156>
国立国会図書館
- 件名シリコン / 高誘電率絶縁膜 / 電子サイクロトロン共鳴プラズマ / 酸化膜 / 窒化膜...
山部紀久夫, 筑波大学 [著][山部紀久夫]2004-2005<Y151-H16360016>
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- 件名高誘電率絶縁膜 / 集積回路 / ゲート絶縁膜 / 伝導機構 / 電荷捕獲...
中島寛, 九州大学 [著][中島寛]2001-2003<Y151-H13450130>
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- 件名シリコン / 電子サイクロトロンプラズマ / スパッタリング / 高誘電率絶縁膜 / 酸化膜 / 窒化膜 / 積層構造
白石賢二, 筑波大学 [著][白石賢二]2004-2005<Y151-H16560020>
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- 件名高誘電率絶縁膜 / シリコンナノ構造 / 格子欠陥 / 第一原理計算 / ...