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ナノメータSOIデバイス構造に関する研究
ナノメータSOIデバイス構造に関する研究
紙
図書
藤永清久, 北海道工業大学 [著]
[藤永清久]
2004-2006
<Y151-H16560305>
国立国会図書館
件名
SiGe / SOI / 電界効果素子 / 量子井戸 / 埋め込みチャネル / ホール移動度 / サブスレッショルド特性 /
SIMOX
SIMOX
を用いた高トランスコンダクタンスMOS電界効果トランジスタの試作研究
SIMOXを用いた高トランスコンダクタンスMOS電界効果トランジスタの試作研究
紙
図書
菅野, 卓雄, 東京大学
1989-1992
<Y151-H01850005>
国立国会図書館
件名
SIMOX
SOI MOSFET 集積回路 超高速デバイス 低消費電力...
量子化イオン照射による半導体ナノ構造の加工と特性制御
量子化イオン照射による半導体ナノ構造の加工と特性制御
紙
図書
大泊, 巌, 早稲田大学
1997-1999
<Y151-H09555102>
国立国会図書館
件名
量子化イオン照射法 単一イオン抽出 2次電子検出 不純物揺らぎ ドーパント個数制御
SIMOX
基板 表面改質 異方性エツチング
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